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面向半导体制造、显示面板及生物医学应用的精密光学检测与计量仪器制造商。各系列产品均可按客户工艺节点、基板尺寸及检测指标进行定制,样机交付周期12–24周。

晶圆级缺陷检测系统
泛半导体 SEMI
晶圆级缺陷检测系统

支持定制的高精度晶圆表面缺陷检测模块,适配多种工艺节点与晶圆尺寸

光刻胶涂层缺陷检测
泛半导体 SEMI
光刻胶涂层缺陷检测

可定制的光刻胶涂层质量在线监测模块,支持嵌入现有产线

晶圆表面波前测量系统
泛半导体 SEMI
晶圆表面波前测量系统

高精度晶圆表面波前测量,可按客户测量范围及精度需求定制

TFT基板AOI检测模块
显示面板 FPD
TFT基板AOI检测模块

可按基板尺寸与检测指标定制的TFT基板自动光学检测模块

导电粒子检测模块
显示面板 FPD
导电粒子检测模块

显示面板导电粒子污染定制化检测方案,可按粒子尺寸及密度要求灵活配置

人工晶体波前测量设备
生物医学 BIOMED
人工晶体波前测量设备

定制化人工晶体波前与光学质量测量设备,适配不同型号及检测标准

小鼠行为分析系统
生物医学 BIOMED
小鼠行为分析系统

可按实验方案定制的智能小鼠行为监测与分析系统

细胞图像分析软件
生物医学 BIOMED
细胞图像分析软件

AI驱动的细胞图像智能分析软件,支持按检测指标与数据格式定制化开发

提交定制需求

请提供工艺节点、基板规格、检测指标及产线节拍要求,我们将给出可验收的技术方案